表面工程用靶材(裝飾工具)多弧靶

品 名純度密度鍍膜優(yōu)勢色形狀常規(guī)尺寸應(yīng)用行業(yè)
鈦鋁(TiAl)合金靶2N8-4N3.6-4.2玫瑰金/咖啡色圓柱形直 徑60/65/95/100*30/32/40/45mm裝飾/工具
純鉻(Cr)靶2N7-4N7.19白色/黑色圓柱形
純鈦(Ti)靶)2N8-4N4.51金黃色/槍黑色藍(lán)色/玫瑰紅圓柱形
純鋯(Zr)靶2N5-4N6.5金色圓柱形
純鋁(Al))靶4N-5N2.7銀色圓柱形
展開表格

靶材的主要性能要求

靶材的主要性能要求:

純度

純度是靶材的主要性能指標(biāo)之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應(yīng)用中,對靶材的純度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,硅片尺寸由6”, 8“發(fā)展到12”, 而布線寬度由0.5um減小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材純度可以滿足0.35umIC的工藝要求,而制備0.18um線條對靶材純度則要求99.999%甚至99.9999%。

雜質(zhì)含量

靶材固體中的雜質(zhì)和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質(zhì)含量的要求也不同。例如,半導(dǎo)體工業(yè)用的純鋁及鋁合金靶材,對堿金屬含量和放射性元素含量都有特殊要求。

密度

為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學(xué)和光學(xué)性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應(yīng)力。密度也是靶材的關(guān)鍵性能指標(biāo)之一。

晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

通常靶材為多晶結(jié)構(gòu),晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細(xì)小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。