簡(jiǎn)介

1.別名·英文名

二氯硅烷；DichIorosilane．

2.用途：

電子氣、外延、化學(xué)氣相淀積。

3.制法：

(1)硅烷或一氯硅烷在三氯化鋁存在下與氯化氫反應(yīng)。

(2)在高溫下，硅與氫及氯化氫反應(yīng)，再精餾提純。

理化性質(zhì)

分子量： 101.010

熔點(diǎn)： -122.0℃

沸點(diǎn)(101.325kPa)： 8.2℃

液體密度(0℃，101.325kPa)：1220kg/m

氣體密度(25℃，101.325kPa)：4.168kg/m

相對(duì)密度(氣體，空氣=1，25℃，101.325kPa)：3.52

比容(21.1℃，101.325kPa)： 0.2391m3/kg

氣液容積比(15℃，100kPa) 290L/L

臨界溫度： 176.0℃

臨界壓力：4676kPa

臨界密度：463kg/m3

氣化熱(8.4℃，101.325kPa)：249.kJ/kg

比熱容(25℃，氣體)：Cp=611.27J/(kg·K)

蒸氣壓 (-20℃)：31.4kPa

(0℃)： 81.1kPa

(20℃)：167.2kPa

粘度(氣體，20℃，101.325kPa)：0.0163mPa·s

表面張力(20℃)：11.9mN/m

空氣中爆炸極限(20℃，101.325kPa)： 4.1%～98.8%(體積)

自燃點(diǎn)：：111°F(44℃)

毒性

有毒氣體范圍： >0.25ppm

嗅覺濃度： ～1ppm

刺激性濃度： ～10ppm

最高容許濃度： 0.5ppm(2mg/m)

二氯硅烷的毒作用主要是由它在濕空氣中的水解產(chǎn)物氯化氫引起的。因此，人吸入后激烈刺激呼吸道，引起嗆咳、呼吸道發(fā)炎、喉痙攣和肺水腫。觸到眼睛可引起流淚并導(dǎo)致眼灼傷。接觸皮膚可引起化學(xué)燒傷。液態(tài)二氯硅烷也可引起冷燒傷。

安全防護(hù)

可把二氯硅烷看作火源，禁止在任何火災(zāi)危險(xiǎn)區(qū)存放鋼瓶或敷設(shè)二氯硅烷的管道。氣體用鋼瓶貯裝，鋼瓶要存放在陰涼干燥通風(fēng)的室外或強(qiáng)制通風(fēng)的室內(nèi)，要遠(yuǎn)離氧化劑、火源和熱源。設(shè)備管道等使用前須脫水和密封?？捎煤ぬ铰┢?、氨或本身的窒息性氣味來檢漏。所有設(shè)備管道要接地。設(shè)備或裝置暫時(shí)不用或延長(zhǎng)停產(chǎn)時(shí)間時(shí)，應(yīng)把二氯硅烷放出來，充入干燥的惰性氣體。

有水分時(shí)二氯硅烷呈強(qiáng)酸性，腐蝕性極強(qiáng)。對(duì)無水二氯硅烷可用鐵、低合金鋼、鎳鋼、銅鎳合金、鎳、海帕倫、蒙乃爾、銀、金、鉑、鉭。不能用鋁、鋁合金、銅硅合金、黃銅等?？梢杂镁鬯姆蚁⒕廴然蚁┚酆象w、天然橡膠、玻璃、瓷料、石墨等。但是在二氯硅烷可能燃燒的地方避免使用可燃性材料。

當(dāng)發(fā)生火災(zāi)時(shí)，首先要關(guān)閉氣瓶閥，斷絕氣源。滅火時(shí)，如果用水，則產(chǎn)生大量氯化氫，如果用堿性粉末，則產(chǎn)生氫氣，因此這兩者都不可用?？梢杂枚趸己蜕白?。

廢氣可用水或苛性鉀等堿液吸收，可以用相應(yīng)的吸附劑吸附，也可以在嚴(yán)格控制下燃燒。